檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "李嘉平".cadvisor (精準) and ckeyword.raw="反應性濺鍍"
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本研究主要以反應性濺鍍來成長NbNx薄膜於銅-矽基材多層膜系統中擴散阻障層失效機制的研究。觀察N2/Ar流量比對NbNx薄膜之沈積速率、N/Nb原子比、結晶結構、電阻率及表面型態之影響。實驗結果顯示…
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本研究主旨在於利用反應性濺鍍沉積薄膜的方式來製作掺雜10%釓的氧化鈰做為SOFC的電解質材料以取代傳統的YSZ,目前並沒有太多的研究是關於使用反應性濺鍍沉積GDC薄膜,文獻中提到若在離子傳導率同為0…